有差壓水柱式、波紋管式(見長度傳感器)、薄膜式、膜盒式和氣電電子柱測微儀(數(shù)顯氣動(dòng)量儀、電子柱式氣動(dòng)量儀、氣電量儀)等。下面我們就來了解一下壓力式氣動(dòng)量儀的原理。
差壓水柱式氣動(dòng)量儀的工作原理：測量前，分別用與被測孔徑公差的大限尺寸和小限尺寸相等或相近(已精確測得其實(shí)際尺寸)的兩個(gè)校對環(huán)規(guī)，按所采用的放大倍數(shù)，用倍率微調(diào)閥、零位調(diào)整閥調(diào)整水柱的上、下限位置。測量時(shí)，由于被測孔徑實(shí)際尺寸與校對環(huán)規(guī)尺寸之差引起的間隙S1和S2變化，使測量氣室中的壓力也發(fā)生變化，變化的大小由水柱高度表示，從刻度尺上讀出被測孔徑的偏差值。
薄膜式和膜盒式等氣動(dòng)量儀分別采用膜片和膜盒等彈性元件作為轉(zhuǎn)換元件;測量時(shí)由壓力變化引起彈性元件位移，經(jīng)杠桿齒輪機(jī)構(gòu)放大后由表針指示。如果在彈性元件的端面上加上電觸點(diǎn)，便能發(fā)出電信號(hào)而進(jìn)行自動(dòng)測量。
氣電電子柱測微儀（數(shù)顯氣動(dòng)量儀、電子柱式氣動(dòng)量儀、氣電量儀可參考可將氣壓模擬量轉(zhuǎn)換成若干個(gè)電信號(hào),當(dāng)背壓或差壓隨著間隙的變化而轉(zhuǎn)換成電壓的連續(xù)變化量，從而轉(zhuǎn)換成光柱或數(shù)字直接顯示出來，也可以發(fā)出信號(hào)進(jìn)行主動(dòng)測量。我公司研制的氣電電子柱測微儀就是差動(dòng)變壓式氣電量儀。
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